Solid CVD SILICON CARBIDE zvikamu zvinozivikanwa seyekutanga sarudzo yeRTP/EPI mhete nemabhesi uye plasma aetch cavity zvikamu zvinoshanda panzvimbo yepamusoro inodiwa tembiricha yekushanda (> 1500 ℃), zvinodikanwa zvekuchena zvakanyanya kukwirira (> 99.9995%) uye kushanda kunonyanya kunaka kana kushorwa kwemakemikari kunonyanya kukwirira. Zvishandiso izvi hazvina zvikamu zvechipiri pamucheto wezviyo, saka zvikamu zvazvo zvinogadzira zvidimbu zvishoma pane zvimwe zvinhu. Mukuwedzera, izvi zvikamu zvinogona kucheneswa nekushandisa inopisa HF/HCl nekuderera kuduku, zvichiita kuti pave nezvikamu zvishoma uye hupenyu hurefu hwebasa.
